공정 제어
계측·검사
치수와 결함을 확인하고 제조 조건을 조정할 근거를 만듭니다.
관련 기업
ASML
DUV·EUV 노광 장비와 계측·검사 솔루션
KLA
반도체 계측·검사와 공정 제어 솔루션
공정 설명
계측은 막 두께나 패턴 치수 등을 측정하고 검사는 결함과 오염을 찾습니다. 분석 결과는 원인을 찾고 공정을 조정하는 데 사용됩니다. 이 작업은 제조 중 여러 지점에 배치되며 완성 칩의 전기적 테스트와 구분됩니다.
산업 관점
왜 중요한가
공정이 설계한 대로 작동하는지 확인하는 피드백입니다. 측정 속도와 발견 능력을 함께 보면 수율 관리의 비용을 이해할 수 있습니다.
살펴볼 지표
- 찾아야 할 결함과 측정해야 할 치수를 구분했는가?
- 검사 결과가 실제 공정 조정으로 연결되는가?
근거 자료
- ASML products & services ↗ASML · 확인 2026-10-09
- Chip Manufacturing 101 ↗KLA · 확인 2026-10-09
- Products ↗KLA · 확인 2026-10-09