전공정
식각
남길 부분을 보호하면서 필요한 재료를 선택적으로 제거합니다.
개념도 · 실제 비율 아님
관련 기업
Applied Materials
증착·재료 제거·분석 등 반도체 제조 장비
Lam Research
플라스마·선택적 식각 등 식각 기술과 장비
Tokyo Electron
증착·코팅/현상·식각·세정 등 제조 장비
공정 설명
식각은 패턴에 맞춰 재료를 제거해 홈과 구멍 등의 구조를 만듭니다. 플라스마를 사용하는 건식 식각과 액체 약품을 사용하는 습식 식각 등 방식이 다릅니다. 깊이·형상·재료 간 선택성을 제어해야 남길 구조의 손상을 줄일 수 있습니다.
산업 관점
왜 중요한가
복잡한 구조를 실제로 만들 수 있는지 살피는 단계입니다. 장비의 정밀도뿐 아니라 결함과 처리 속도도 생산성을 판단하는 질문이 됩니다.
살펴볼 지표
- 제거할 재료와 보존할 재료를 충분히 구분하는가?
- 깊은 구조에서도 형상과 균일성을 유지하는가?
근거 자료
- Semiconductor Products ↗Applied Materials · 확인 2026-10-09
- Etch Essentials: The Building Blocks of AI Era Microchips ↗Lam Research · 확인 2026-10-09
- Products and Services: semiconductor production process ↗Tokyo Electron · 확인 2026-10-09