전공정
노광
빛을 이용해 감광막에 회로 패턴을 옮깁니다.
개념도 · 실제 비율 아님
관련 기업
ASML
DUV·EUV 노광 장비와 계측·검사 솔루션
Tokyo Electron
증착·코팅/현상·식각·세정 등 제조 장비
공정 설명
웨이퍼에 감광막을 바르고 노광 장비로 패턴을 전달합니다. 빛에 반응한 감광막을 현상하면 다음 공정에 사용할 패턴이 남습니다. DUV와 EUV 같은 노광 방식과 층 사이의 정렬 정확도가 중요합니다.
산업 관점
왜 중요한가
작은 패턴을 만드는 능력과 처리량을 함께 살피면 정밀도와 생산비 사이의 선택을 이해할 수 있습니다.
살펴볼 지표
- 이 층에 필요한 해상도와 정렬 정확도는 어느 정도인가?
- 노광뿐 아니라 감광막·현상·계측 조건이 함께 맞는가?
근거 자료
- Six crucial steps in semiconductor manufacturing ↗ASML · 확인 2026-10-09
- ASML products & services ↗ASML · 확인 2026-10-09
- Products and Services: semiconductor production process ↗Tokyo Electron · 확인 2026-10-09