전공정
세정·표면 관리
공정 사이에 오염과 잔류물을 제거해 다음 작업의 표면 조건을 맞춥니다.
관련 기업
SCREEN
웨이퍼 세정 등 반도체 생산 장비
Tokyo Electron
증착·코팅/현상·식각·세정 등 제조 장비
공정 설명
웨이퍼 세정은 마지막에만 하는 마무리 작업이 아닙니다. 여러 제조 단계에 맞춰 입자와 공정 잔류물을 관리합니다. 세정 장비와 방법은 처리 대상과 표면 조건에 따라 달라집니다.
산업 관점
왜 중요한가
작은 오염도 관리해야 하는 제조에서 세정은 결함 관리와 연결됩니다. 처리량과 약품·물 사용을 함께 묻는 것이 유용합니다.
살펴볼 지표
- 어떤 오염과 잔류물을 제거하려는가?
- 세정 효과와 표면 보존·자원 사용을 함께 검토하는가?
근거 자료
- 製品情報 / Product Lists ↗SCREEN Semiconductor Solutions · 확인 2026-10-09
- Products and Services: semiconductor production process ↗Tokyo Electron · 확인 2026-10-09